质量流量控制器用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。采购MEMS流量传感器做为测温元件，不受温度压力的影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定流量值进行比较，用所得的差值去控制调节阀门，闭环控制所流过通道的流量使之与设定的流量相等。采用RS485通讯方式来读取数据和控制气体流量，可以直接连接PC、PLC或其他类型的主控单元进行通信和控制，具有高精度、高稳定性、极低零漂特性。