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欧姆龙MEMS流量传感器D6F检测原理有哪些方法?

文章来源:广州鼎悦电子科技公司 人气:68 发表时间:2019-05-08 14:19:47

欧姆龙采用独创的超细微加工技术,开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器D6F, 拥有引以为傲的世界最高级别灵敏度,甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。可以测量空气、 天然气以及LPG气体等等,按测量类型来说主要分为三大类:1、测量空气流速 2、测量气体流量 3、测量空气压差。

三大特点:

1、高精度--通过 ASIC 的线性温度补偿实现 ±3%RD25 100% F.S.

2、高灵敏度--独特的 MEMS 构造,对微风也能进行检测

3、体积小--采用世界最小等级的 MEMS 元件,实现产品的小型化

其中,D6F-W/-V/-P等系列流量传感器采用欧姆龙独创的立体流路结构防尘性出色配备灰尘分离机构(旋风方式)减小了对传感器芯片的影响,从而实现了高可靠性更小型化的尺寸可以安装在任何位置,也适用多种用途


欧姆龙MEMS流量传感器检测原理在没有气体流动的情况下以加热器为中心,温度分布左右对称。流动的状态下,加热器上风向的温度低,下风向温度高,温度分布不再对称。将该温差作为热电堆的电动势之差进行传感,可测量流量、流速而不影响温度、压力。此外,热电堆为热电动势方式,与电阻式相比,有助于降低功耗。


    随着国内天然气市场的快速发展清洁能源也越来越受到大众的重视。可以预见的是,欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器,将会在智能燃气表、燃料电池、燃气锅炉以及空气能热水器等应用领域拥有更多的机会。


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