流量传感器想必大家都知道它分为检测液体流量、气体流量，以下我们来谈下空气流量传感器：

MEMS气体质量bai流量计采用具有自主知识产du权的zhiMEMS芯片作为传感器核心部件，当没有气体介质dao流过传感器芯片时，传感器周围保持稳定的温度场（温度分布）,当气体介质流过传感器芯片时，温度场因为流体介质带走热量导致局部温度重新分布。局部温度场的变化量取决于流体介质的质量及流速。集成在芯片上的传感器对此温度分布进行测量，通过校准，专门设计的信号处理电路和智能控制软件可精确测量实际的介质质量流量.

以下我们来看下欧姆龙流量传感器的结构：

欧姆龙MEMS气体流量传感器特点：

1、高精度测量微流量

采用温差检测方式，实现±3% F.S.的高精度传感

2、温度特性 实现 ±3% F.S.

温度的影响小，无需进行温度补偿即可测量质量流量

3、可优化质量流量的高速响应性

实现了高速响应性，输出达到 ±3% F.S 只需20ms

优化空燃比并提高了测量可靠性

4、应用广泛的低功耗

热电堆为热电动势输出方式，功耗低于电阻式