随着科学研究的发展速度，现如今对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,传统的工业和流体力学研究的流量传感器向高集成度,微型化,高精度,高可靠性方向发展,同时生命科学的发展大大促进了用于微流体,生物学、医学、卫生、食物等学科研究新型流量传感器的研究开发,微型流量传感器已成为MEMS的重要研究方向。

鼎悦电子向大家介绍一下OMRON的新品 MEMS流量传感器：

1、产品特点：

流量传感器具有体积小、重量轻、读数直观清晰、可靠性高、无压力损失

能大限度发挥燃料电池发电效率的高精度MEMS流量传感器，应用气体流量测试技术检测仅为1毫米/秒的气体流量。作为减轻环境负担的新一代燃料电池系统零部件，MEMS流量传感器发挥着重要的作用。 燃料电池的原理就是将城市燃气中含有的氢气与氧气混合在一起，产生化学反应进行发电。为了尽量提高发电效率，需要使氢气与氧气在合适的混合比率的情况下进行燃烧。为了达到这一目的，需要发挥MEMS流量传感器的高精度测试技术。欧姆龙MEMS流量传感器采用超细微加工技术，开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器。拥有引以为傲的高级别灵敏度，甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。随着燃料电池的普及，对欧姆龙小型、高性能MEMS流量传感器用途的期待也不断高涨。

2、流量传感器工作原理：

流量传感器,是一种用于检测液体、气体等介质的流量参数并将其转换为其他形式的信号进行输出的一种检测用仪器仪表（从氢气及氧气形成电能）实现有效的化学反应，高精度地检测氢气及其氧气的流量。