欧姆龙MEMS流量传感器D6F检测原理有哪些方法?

欧姆龙采用独创的超细微加工技术，开发了装配有流速检测元件的MEMS流量传感器D6F, 拥有引以为傲的世界最高级别灵敏度，甚至是1毫米/秒的气体流速变化也能精确检测。可以测量空气、天然气以及LPG气体等等，按测量类型来说主要分为三大类：1、测量空气流速 2、测量气体流量 3、测量空气压差。

三大特点：

1、高精度--通过 ASIC 的线性温度补偿，实现 ±3%RD（25 ～ 100% F.S.）；

2、高灵敏度--独特的 MEMS 构造，对微风也能进行检测；

3、体积小--采用世界最小等级的 MEMS 元件，实现产品的小型化。

其中，D6F-W/-V/-P等系列流量传感器采用欧姆龙独创的立体流路结构，防尘性出色，配备灰尘分离机构（旋风方式），减小了对传感器芯片的影响，从而实现了高可靠性。更小型化的尺寸，可以安装在任何位置，也适用多种用途。

欧姆龙MEMS流量传感器检测原理：在没有气体流动的情况下以加热器为中心，温度分布左右对称。流动的状态下，加热器上风向的温度低，下风向温度高，温度分布不再对称。将该温差作为热电堆的电动势之差进行传感，可测量流量、流速而不影响温度、压力。此外，热电堆为热电动势方式，与电阻式相比，有助于降低功耗。

随着国内天然气市场的快速发展，清洁能源也越来越受到大众的重视。可以预见的是，欧姆龙小型化、高性能MEMS流量传感器，将会在智能燃气表、燃料电池、燃气锅炉以及空气能热水器等应用领域拥有更多的机会。