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2021-06-10
本文由广州鼎悦电子分享欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试领域的应用，那么首先我们来了解下什么是晶圆测试？晶圆测试是对晶片上的每个晶粒进行针测，在检测头装上以金线制成细如毛发之探针，与晶粒上的接点接触，测试其电气特性，不合格的晶粒会被标上记号，而后当晶片依晶粒为单位切割成独立的晶粒时，标有记号的不合格晶粒会被洮汰，不再进行下一个制程，以免徒增制造成本。
下面正式带大家了解欧姆龙B5W-LB限定反射型传感器在晶圆测试的应用：
特点：
1、全性卓越的LED式
以往使用激光的激光式定位传感器，激光会从加载口内侧穿过FOUP直射操作人员，十分危险。B5W-LB成功使用LED光源。确保操作人员安全。
2、亦可检测玻璃晶圆
B5W-LB以反射光的位置来检测，不管反射光量的多少都能检测出玻璃晶圆。
3、可检测涂氮晶圆
氮化膜具有可吸收特定波长光的性质，吸收的波长因氮化膜的厚度而不同。因此，对于使用单波长激光的传感器，可能会因光全被吸收而无法检测。而LED光源的光具有一定波长段，即使氮化膜晶圆也可准确检测。
4、0.5ms的高速反应
实现0.5ms的高速反应。兼顾高速反应性和高精度。
5、基于欧姆龙软技术的高精度位置检测
利用反射光量检测时，反射光量和晶圆的边缘形状会影响检测结果。B5W-LB的受光部使用2段受光元件，通过反射光位置而非反射光量进行检测。因此，受晶圆厚度和反射光量的影响较小。
6、安装方式灵活
传感器可以从正下方引出电缆，备有两向螺钉安装孔位，可根据实际情况灵活安装。
7、内置放大器的小巧、轻盈型
尺寸为宽度13mm×厚度8.4mm×进深20mm，质量约为1.6g的小巧、轻盈型。
